第487章 这小子蹦跶的比你想象中的欢(2 / 2)

周政国起身,傲娇离去。

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江奕辰并没有守在高能所干等这个项目落地。

而是继续留在庐州,继续干光刻机。

激光诱导气体等离子体技术,在这个新型光刻机上显得非常融洽。

现在的问题,变成了缺乏符合相关性能的透镜。

目前,江奕辰一方面让黄小婷去对接长春光机所。

另一方面,则是让孔连华把当初在改良曝光系统过程中,拿出来的新型镓镁晶体。

这种晶体透光率非常不错。

唯独的缺点,是热膨胀系数不太好。

这也是作为改良后的增大折光率透镜后,需要一段时间后更换。

但,当初研究的时候,既有两个方向,另外,镓镁晶体在江奕辰的模拟中,还是有更多作用。

科研人员派了出去,每天都在汇总新的问题到华辰微电子。

江奕辰也化身科研狂人,一同远程参谋指导。

效果,却也是明显的。

等到快6月份的时候,在江奕辰新型晶体材料的支撑下,长光所拿出了符合要求的透镜。

整个新型EUV光刻机的透镜系统,一共由五组高精度透镜组成,每组透镜都经过精密的打磨与调配,确保了光线的精准聚焦与传输。

其中,最关键的一组透镜便是采用了江奕辰提供的新型镓镁晶体制造而成,尽管其热膨胀系数存在一定的挑战,但通过特殊的冷却系统与动态调整机制,有效延长了其使用寿命,并保证了光刻过程中的稳定性与精度。

随着透镜系统的完成,整个光刻机的组装工作也进入了尾声。

江奕辰带领团队,对光刻机的每一个部件进行了细致的调试与优化,确保从光源到最终成像的每一个环节都能达到最佳状态。

期间,他们还解决了多起技术难题,包括但不限于光源稳定性的提升、曝光时间的精确控制以及自动化流程的优化等。

6月1日,各个部件已经准备好。

江奕辰带着黄小婷、纪年华等工程师们开始了组装大业。

光是组装,便装了足足二十天。

花了巨资采购的部件,加上自身研究的光源系统、曝光系统,让这个光刻机,虽然是试验机,但造价已然超过了2个亿。

一个粗糙,但功能设计已经齐全的庞然大物,就被工程师们搭积木一般,建了起来。

看着这个东西,众人都激动澎湃。

“江董,您太厉害了,没想到我们真的把一个EUV光刻机整出来了!”

看到纪年华的吹捧,江奕辰摆手,“还没有实验成功呢,急什么。”

“一定会成功的!”

“您说,我们这个光刻机,叫什么名字好?”

“……”

学习百倍暴击,我从此天下无敌三月天