“就叫华辰EUV光刻机。”

江奕辰摆摆手，对取名这个想法，并没有特别大的兴趣。

只要能用，这机器就是好的。

要是不能用，叫啥高大上的名字，也是白搭。

EUV，那是极紫外线光刻机（Extreme Ultra-violet Lithography Machine）的简称。

这也算是在业界约定成俗，直接叫这个，大部分人都知道这是什么类的光刻机。

“先测试曝光。”

江奕辰扬手吩咐。

当然不需要他出手，这群激动的工程师们就嗷嗷叫地开启了光刻机。

因为是测试样机，并没有啥包装设计，没有必要的装饰板一个没有，裸机看起来，有些不好看。

但总体的设计语言很不错，看起来有种工业的美感。

这，就是工业上最大的一颗明珠了吧。

机器启动，黄小婷选择了测试程序。

双工件台也开始了运转，一片晶圆被送了上去，而后进入了光刻环节。

强大的光源系统，让激光碰上了气体，激发了极紫外线光。

复杂的透镜系统，过滤或是反射掉了那些不需要的光，留下了极为纯净且带有足够能量的极紫外光。

透过掩膜版，照射在了晶圆上面的光刻胶上。

随着光线的照射，光刻胶发生了化学反应，形成微小的电路图案。

这个过程需要极高的精度和稳定性，任何微小的偏差都可能导致整个芯片的失效。

江奕辰紧盯着监控屏幕，观察着每一个细节。

EUV光刻机的光刻性能直接关系到芯片的质量和产量，而芯片则是现代电子设备的核心。

“看起来不错。”

他微微点头，对工程师们说道，“等会看看测量结果。”

工程师们忍着心头的激动，依然稳步开展着光刻测试。

随着时间推移，测试逐渐进入了尾声。

晶圆被送出光刻机，进入了下一个环节。

工程师们轻手轻脚地夹着去做蚀刻等工艺。

在无尘车间，昏黄的灯光下，一切都顺利进行着。

紧接着就是沉积晶体管，随后便是检测。

孔连华非常熟悉地收集和分析数据，对光刻机的性能进行评估。

“结果如何？”江奕辰问道。

孔连华脸上洋溢着难以抑制的喜悦，“江总，结果非常出色！测试结果显示，光刻精度95%以上，线宽控制误差小于3纳米，这远远超过了行业平均水平的85%精度和5纳米误差！”

这么优秀？！

这个结果让江奕辰都有些愣神。

但穿着无尘服，戴着口罩的他并做不出更多的表情。

“当真？”

“千真万确！！”

“太好了！”黄小婷顿时跳了起来。

其他工程师们也纷纷热闹的开口，

“真是难以置信，我们做到了！”有人激动地挥舞拳头。

“江总太强了！”张工程师感慨道。

“江总，这下我们可以自信地说，我们打破了阿斯麦的光刻机封锁！”钟国栋的声音因激动而微微颤抖。

辰芯微这半年来，太难了！

被江奕辰用“秘法”拯救过的二手光刻机，在尽心尽责的工作了3个月后，很快出现了难以救回的问题，光源可以说报废了，透镜系统也几乎不可用。

原本的4条二手197nm干式光刻机生产线，一下子就停了3个。

不得已，辰芯微推掉了华威等企业的芯片生产订单。