第475章 这只是一个暂时的解决方案(2 / 2)

量。连华,你能提供最新的检测数据吗?”

孔连华迅速从边上拿出了一份详尽的报告,递给了江奕辰。“这是最近一次全面检测的数据,您看,光源输出功率的波动范围较大,尤其是在高频率运行时,频率稳定性也不尽人意。这让我们空有改良后的曝光系统,也是没法子。”

江奕辰仔细研究着数据,眉头紧锁。

模拟(S级)快速地启动。

不仅如此,一进入车间,江奕辰就把自己的各类增益Buff光环应开尽开。

周边的人虽然不多,但都是技术骨干,这会儿一个个都似乎有了主心骨,对这个问题并没有了之前的那般畏惧。

而是坚定的相信,江奕辰一定有办法。

“你们之前提的让大竹激光、光华科技要替代方案,这个我同意。国栋,要开出足够高的高价,让他们全力配合我们拿出光源。”

“这绝不是为这么一个问题,而是从长远着想。”

江奕辰继续道,“我已经和华威沟通过了,准备成立合资公司,专门造光刻机。兼营镜头、非接触式曝光系统。”

钟国栋有些喜色,“我们自己造光刻机,这倒是好事,不过这投资怕是很大。”

“华威出500个亿,我们出450亿,此外我们还有相关技术入股,占股51%。”

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“450个亿,我们辰芯微也拿不出来。”钟国栋有些无奈。

“奕辰投资和星辰公司出,辰芯微出技术和研究人员就行。”江奕辰摆手。

这三个公司都是他控股的,问题并不大。

倒是他不知道华威居然这么有魄力,直接拿出500个亿。

看了一会数据,江奕辰又让工程师们试运行了一会,很快找到了问题症结和解决办法。

“可以试试调整输出功率至一个较低的但更稳定的区间,同时微调频率,以减少因频率波动引起的曝光不均。此外,优化脉冲宽度,它直接影响到光刻图案的清晰度。”

张成在一旁插话道:“但是,降低输出功率可能会影响光刻效率,我们得确保调整后的参数能在保证质量的同时,尽量不牺牲生产效率。”

江奕辰点头,“可以先进行一次小范围的试验,记录下调整前后的生产效率和质量变化,用数据说话。”

黄小婷提议:“那我们先设定几个参数组合进行试验,每个组合运行一段时间,收集足够的数据来进行分析。”

“可以。”江奕辰说,“同时,引进光学模拟软件,对不同的参数组合进行预模拟,这样可以提前预测效果,减少实际试验的次数和成本。”

孔连华立刻行动起来,联系技术团队准备进行试验。

几个小时后,选定了三个最有可能成功的参数组合进行实际测试。

紧接下来几天,团队轮流值守,密切监控光刻机的运行状态,记录每一片芯片的生产数据。

经过多轮测试,最终确定了一组既能保证光源稳定性,又能维持较高生产效率的参数设置。

孔连华高兴极了,激动地汇报,“江董,光源输出功率的波动降低了30%,频率稳定性提高了25%,而生产效率仅下降了5%,问题初步得到了解决。”

“看样子,我们的调整方向是正确的。”江奕辰满意地点头,“但这只是一个暂时的解决方案。”

……

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