第416章 把辰芯微做成世界第一的芯片制造公司(1 / 2)

193nm的干式DUV光刻机对阿斯麦来说,并不是多高大上的技术。

早在上个世纪90年代,他们就整了出来。

随后因为一个林姓的华裔研究出了浸没式技术。

其加入了台鸡电,在让台鸡电快速扩张的同时,也让阿斯麦成为了行业中的领头者。

在泥康这些日企苦苦研究干式光刻机的时候,他们的浸润式光刻技术,让阿斯麦一举成为了领先。

时至今天,阿斯麦已经研制了EUV光刻机,行业领先地位,再难撼动。

但是否意味着阿斯麦永远不会衰落呢?

并不是这样。

技术的突破,甚至是技术的更新,带来技术弯道超车,都可能让一个原本领先的技术公司,再次落后。

江奕辰就坚定地这么认为。

也不断地开展各类延伸性研究。

特别是自己的个人实验室,并不是江奕辰在主要研究光刻技术的时候,他们就闲着。

相反,江奕辰也给了不少的研究课题,让孙阳、罗钰牵头开展。

只要他们研究出来的技术,都进入江奕辰奕辰集团的技术鱼池。

一旦哪个技术获得应用,那么他们这些人也将会有巨大的技术分红。

如今大的技术不说,但江奕辰将一种电致发光材料交给他们研究之后,还真让他们整了新的东西。

不过江奕辰现在没有理会。

新光刻技术正在实验。

张成研究的高分子溶液暂时失败,找的数十个材料,虽然取得了一定效果,但却因为各种原因,没有办法采用。

唯独好一点的,制备纯度极高的溶液难度大不说,成本也高,还容易侵蚀衬底,让光刻的效果消散。

最后江奕辰把重点放在了孔连华的研究上。

孔连华研究的是一种特制的晶体。

在第一阶段研究的过程中,孔连华在江奕辰的提醒下就制备了超过10种的符合折光率条件的晶体。

全部超过超纯水的折光率。

其中最好的一种晶体,可以让光的波长,从193nm缩减到90nm。

这意味着可以轻易地制备14nm的芯片。

因为光的波长是横向尺寸,把光比作弯曲的钻头,弯曲成正弦波样子,那么弯曲一个来回,钻头的长就是波长。

用这个钻头来打孔,就会晃动,这是光波的打在被爆光的面上的精细程度。

如果采用多重曝光、鳍式场效应晶体管FinFET技术,突破到7nn,甚至5nm估计也不成问题。

只是这种晶体的缺点也较多,特别是高温形变问题是难点中的难点。

光刻,是光在晶圆上进行雕刻,

光不断地冲击,会让晶圆发热。

在晶圆上面再加一个晶体,比增加一个透镜的难度要大得多。

最后选定的,是镓镁晶体。

这种晶体,在特殊的技术处理之后,能够适应较高的温度,高温形变上能够有效改善。

当然,这种也只是改善,并不能完全解决。

“江总,我们的专家们厉害,把这个系统破解了,增加了一道非接触式光刻系统。”孔连华解释道,“就是咱们这么一搞,出问题后要阿斯麦的工程师来修就不可能的事了。”

不仅不能让人来修,还不能让人知道。

江奕辰并没有直接回复,而是看着一片测试晶圆的情况。

“检测结果,28nm工艺。”

就这么一个测试,就达到了28nm工艺的极限。

显而易见,镓镁晶体给193nm的光刻机带来了巨大的质变。